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针对矩形波导微波化学反应器,在低气压,低功率,纯甲烷微波放电情况下,用朗缪尔探针测量了石英反应管内等离子体的分布,用热偶计测量了微波等离子体在空间的温度分布。在谐振腔中心位置,等离子体的空间温度可以达到829℃;而在等离子体边缘区域,空间温度仅为78℃。
微波化学反应器内等离子体空间温度的测量研究
【摘 要】
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针对矩形波导微波化学反应器,在低气压,低功率,纯甲烷微波放电情况下,用朗缪尔探针测量了石英反应管内等离子体的分布,用热偶计测量了微波等离子体在空间的温度分布。在谐振
【机 构】
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东南大学电子工程系毫米波国家重点实验室; 金陵石化分公司; 南京大学; 东南大学电子工程系毫米波国家重点实验室 南京210096; 南京210096;
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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江苏省“十.五”科技攻关项目(BE2001034)
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