基于AD630的阻抗在线监测系统设计

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为了测量引线键合过程中芯片阻抗的变化,采用了DSP控制的阻抗测量方法,即用直接数字频率合成器(DDS)产生同步的正交信号源,用相关法器件AD630对阻抗数据进行处理,AD采样后将结果送入DSP中,通过上位机显示并在线监测。通过实际应用验证,该方法提高了测量精度。该系统有重要的推广价值,可应用到有类似需求的设备中。
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