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当前半导体制造工厂的制造执行系统（MES）存在着许多问题。给出了半导体制造工厂制造执行系统（MES）重构的约束条件和相关要求,提出了一种基于云计算的MES重构框架及其技术路线;重构后的MES能够适应半导体制造企业当前的生产经营和不断发展的需求。
基于云计算的半导体制造企业的制造执行系统重构
【摘 要】
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当前半导体制造工厂的制造执行系统（MES）存在着许多问题。给出了半导体制造工厂制造执行系统（MES）重构的约束条件和相关要求,提出了一种基于云计算的MES重构框架及其技术路线;重
【机 构】
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海拉（上海）管理有限公司,上海电机学院电子信息学院
【出 处】
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上海电机学院学报
【发表日期】
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2015年5期
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