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通过中频脉冲磁控溅射的方法在ITO玻璃上沉积出致密的钛薄膜,分别以钛膜和钛箔为基底,在甘油和乙二醇为主的电解液体系中制备出TiO2纳米管阵列,考察阳极氧化电压对纳米管形貌的影响,采用XRD、FESEM等测试手段对样品的组成、结构及形貌等进行表征。结果表明：氧化电压的增加会导致TiO2纳米管管径和长度的增加,但氧化电压过高会造成钛箔基底TiO2纳米管的坍塌,而ITO玻璃基钛膜上则会形成纳米深孔结构。