【摘 要】
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Palomar 科技公司是一家自动化组装系统制造商,该公司将其3500—(?)组装系统应用于 MEMS 微电机械系统封装领域。该公司的 MEMS 封装系列具有 X 轴、Y 轴和 Z 轴上5微米以及
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Palomar 科技公司是一家自动化组装系统制造商,该公司将其3500—(?)组装系统应用于 MEMS 微电机械系统封装领域。该公司的 MEMS 封装系列具有 X 轴、Y 轴和 Z 轴上5微米以及0.2毫弧度偏转的精确范围,它提供晶圆生产的部件组装性能,可应用于特定工具或自动化处理。该封装技
Palomar Technologies, Inc., a maker of automated assembly systems, uses its 3500- (?) Assembly system for MEMS micro-electromechanical system packaging. The company’s MEMS package family, with accurate ranges of 5 microns and 0.2 milliradians deflected on the X, Y, and Z axes, offers component assembly capabilities for wafer fabrication for specific tools or automated processing. The packaging technology
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