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日立中心研究实验室利用溅射在氧化镁基片上2微米厚的YBa2Cu3O7层，制成超导薄膜光学开关，这种薄膜陶瓷是最近发现的高温超导化合物之一，在85 K和3000安/厘米2最大电流密度下电阻消失。该组 把0.5微米的沟槽刻入薄膜，两面附上电极。
超导薄膜光学开关
【摘 要】
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日立中心研究实验室利用溅射在氧化镁基片上2微米厚的YBa2Cu3O7层，制成超导薄膜光学开关，这种薄膜陶瓷是最近发现的高温超导化合物之一，在85 K和3000安/厘米2最大电流密度下电阻消失。该组 把0.5微米的沟槽刻入薄膜，两面附上电极。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1988年25期
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