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微区电阻测试方法及新测试仪研制
微区电阻测试方法及新测试仪研制
来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaibian000000
【摘 要】
:
文章对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出
【作 者】
:
刘新福
孙以材
王静
张艳辉
【机 构】
:
河北工业大学微电子研究所
【出 处】
:
微电子学与计算机
【发表日期】
:
2003年9期
【关键词】
:
微区电阻
测试方法
测试仪
大规模集成电路
电路尺寸
Sheet resistance for microareas
A modified Van der Pa
【基金项目】
:
国家自然科学基金,河北省自然科学基金,天津市自然科学基金
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文章对国内外开展微区薄层电阻测试的方法进行了综述,特别对改进范德堡四探针技术方法的测试原理、测试过程与测试结果进行了论述与分析,对微区电阻测试方法的进一步发展提出了一种可操作的方法,并研制出新型四探针测试样机.
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