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利用光纤自聚焦透镜作为F-P干涉仪的反射面,根据F-P干涉光谱相邻波峰之间的波长差与其干涉腔长之间的关系,实现微位移的测量.克服了光强型F-P传感器测量结果受光源波动影响、难以识别位移方向等缺点,可直接测量绝对位移,并可识别位移方向.经实验得到其位移测量误差小于2.5nm.
光纤F-P微位移测量实验研究
【摘 要】
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利用光纤自聚焦透镜作为F-P干涉仪的反射面,根据F-P干涉光谱相邻波峰之间的波长差与其干涉腔长之间的关系,实现微位移的测量.克服了光强型F-P传感器测量结果受光源波动影响、
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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2003年5期
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