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扫描探针显微镜已经成为材料纳米摩擦学研究的主要工具之一，本文探讨了扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干测试技术问题，并用摩擦力显微镜对DLC薄膜的纳米摩擦学行为进行了研究．
扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干技术问题
【摘 要】
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扫描探针显微镜已经成为材料纳米摩擦学研究的主要工具之一，本文探讨了扫描探针显微镜应用于材料纳米摩擦学研究的若干测试技术问题，并用摩擦力显微镜对DLC薄膜的纳米摩擦学行
【机 构】
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深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室,深圳大学光电子研究所
【出 处】
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物理实验
【发表日期】
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2007年2期
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