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在Ar气氛中对TiO2陶瓷进行射频磁控溅射时,TiO2陶瓷电导率发生显著变化.该文对这一现象进行了研究.采用多种分析手段对实验结果进行了分析.分析表明,辉光放电电离Ar气所产生的Ar离子冲击TiO2陶瓷表面的热量和动量被O2-吸收,引起O2-溢出TiO2陶瓷,导致TiO2化学配比偏离正常,从而提高了TiO2陶瓷的电导率.