制备工艺对BaO-TiO2-B2O3-SiO2体系LTCC性能和微观结构的影响

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研究了溶胶-凝胶法、高温熔融法、预煅烧法分别制备的BaO-TiO2-B2O3-SiO2体系LTCC的介电性能、烧结性能以及微观结构。研究发现.溶胶-凝胶法制备的LTCC材料烧结温度较低.坯体在880℃烧结即可达到最大收缩,其烧结收缩率大于高温固相法制备的LTCC;高温熔融法制备的LTCC介电性能稳定,但烧结温度偏高.大约950℃才能达到最大收缩;预煅烧法制备粉体简单、有效.烧结温度在900℃左右,但LTCC中活性成分较多.容易造成气孔率偏高,致密化难度增大且介电常数稳定性不好等缺点;在总结这3种制备工艺对
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