【摘 要】
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采用双通道气路转换法测量了铬锆铜材料的出气率.对经过150℃、保温24 h烘烤的铬锆铜,测得的出气率为2.89×10-10 Pa·L·s-1· cm-2(等效氮气),烘烤温度提升至250℃时,铬锆铜的出气率降低约一个数量级.铬锆铜在真空炉中进行400℃、保温24 h除气处理后,仅经过150C、保温24 h烘烤,出气率即低至1.64× 10-11 Pa·L·s-1·cm-2,进一步提升烘烤温度,出气率变化不大.通过X射线光电子谱分析铬锆铜在不同温度下的表面成分.在250C时,铬锆铜表面Cu的氧化物已经基本完
【机 构】
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中国科学院上海应用物理研究所 上海201800;中国科学院上海高等研究院 上海201210;中国科学院大学 北京100049;上海同步辐射光源 上海201204;中国科学院上海高等研究院 上海2012
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采用双通道气路转换法测量了铬锆铜材料的出气率.对经过150℃、保温24 h烘烤的铬锆铜,测得的出气率为2.89×10-10 Pa·L·s-1· cm-2(等效氮气),烘烤温度提升至250℃时,铬锆铜的出气率降低约一个数量级.铬锆铜在真空炉中进行400℃、保温24 h除气处理后,仅经过150C、保温24 h烘烤,出气率即低至1.64× 10-11 Pa·L·s-1·cm-2,进一步提升烘烤温度,出气率变化不大.通过X射线光电子谱分析铬锆铜在不同温度下的表面成分.在250C时,铬锆铜表面Cu的氧化物已经基本完全分解,在400℃时,铬锆铜体内的Cr析出至表面,降至室温,Cr仍保留在表面.铬锆铜表面氧化层成分的变化是造成其出气率差异的原因.
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