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本文介绍了一种光纤探针式表面粗糙度测量仪,它集现有接触式和非接触式表面粗糙度测量仪优点于一身,能满足表面粗糙度测量的高精度要求.本文阐述了此种测量仪的工作原理,说明了各部分的主要功能,并给出了光纤探头部分的具体设计,最后分析了实验结果.
光纤探针式表面粗糙度测量仪实验研究
【摘 要】
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本文介绍了一种光纤探针式表面粗糙度测量仪,它集现有接触式和非接触式表面粗糙度测量仪优点于一身,能满足表面粗糙度测量的高精度要求.本文阐述了此种测量仪的工作原理,说明
【机 构】
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天津大学,河北工业大学
【出 处】
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南开大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2005年1期
【基金项目】
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天津市自然科学基金，国家自然科学基金
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