【摘 要】
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针对我国用于离子注入机的高压放大器输出峰值电压一般处于±10 kV的现状，研制了一种双极高速高压功率放大器，输出最大峰值电压为±20 kV，输出最大功率为400 W。为了提高耐压能力，功率管以双极型晶体管为主体，由MOSFET和IGBT串联，采用AB类工作模式通过推挽放大器的上、下两个功率管实现放大功能。经过仿真实验，实现了输出电压放大，同时实现了信号低噪声、响应频带宽、压摆率高、输出响应快等特性
【机 构】
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针对我国用于离子注入机的高压放大器输出峰值电压一般处于±10 kV的现状，研制了一种双极高速高压功率放大器，输出最大峰值电压为±20 kV，输出最大功率为400 W。为了提高耐压能力，功率管以双极型晶体管为主体，由MOSFET和IGBT串联，采用AB类工作模式通过推挽放大器的上、下两个功率管实现放大功能。经过仿真实验，实现了输出电压放大，同时实现了信号低噪声、响应频带宽、压摆率高、输出响应快等特性，对提高我国半导体设备水平以及国产化程度具有重要意义。
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