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本文介绍ＤＳＷ投影物镜恒温水控制的算法，在基本ＰＩＤ的控制的基础上加上模糊控制算法，以对Ｐ．Ｉ．Ｄ参数分段赋值，取得了比较高的控温精度。
物镜恒温水控制的算法研究
【摘 要】
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本文介绍ＤＳＷ投影物镜恒温水控制的算法，在基本ＰＩＤ的控制的基础上加上模糊控制算法，以对Ｐ．Ｉ．Ｄ参数分段赋值，取得了比较高的控温精度。
【机 构】
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中科院光电技术研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1998年3期
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