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石英真空计测量范围是10-1Pa-105Pa.石英真空计的优点是传感器体积小,耗电功率小,精度较高,量程较宽,因而它将会有广泛的应用.
石英真空计及其应用
【摘 要】
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石英真空计测量范围是10-1Pa-105Pa.石英真空计的优点是传感器体积小,耗电功率小,精度较高,量程较宽,因而它将会有广泛的应用.
【机 构】
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北京大学电子学系,北京,100871
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2018年4期
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