铌酸锂晶体平面镜的金刚石飞切加工

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铌酸锂 (LiNbO3 )晶体是常用的电光晶体、声光晶体和变频晶体 ,常用于制作电光开关、激光调制器、偏转器、光电倍增管等 ,在激光技术中应用较多。但LiNbO3 晶体脆性大 ,机械加工易使材料产生解理断裂破坏 ,可加工性极差 ;另外 ,由于LiNbO3 具有各向异性 ,车削加工时晶体的结晶方位相对于切削方向连续变化 ,已加工表面呈现各向异性特征 ,即产生以工件回转轴线为中心的扇形粗糙区和光滑区 ,严重影响已加工表面质量的一致性。为确保获得表面质量均匀一致的光滑表面 ,我们提出了LiNbO3 晶体平面镜的
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