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分析了用静电牵引法测量悬臂梁结构力学参数时,由于绝缘层中残余电荷的存在,对测试结果带来的影响;并提出了利用C-V特性曲线确定残余电荷数量的方法,将求出的残余电荷数量从静电力的角度进行等效,从而求出考虑残余电荷后带来的阈值电压测试误差.该分析方法既适于提高悬臂梁、桥等用来测量力学参数的精度,也适于对静电执行器等的精确分析.