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论述硅的各向同性腐蚀与各向异性腐蚀的工作原理，提出硅膜厚度的控制方法。实验中得出异向腐蚀时的最佳温度为９５℃，腐蚀速率ｖ＝１μｍ／ｍｉｎ。
硅的微机械加工技术
【摘 要】
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论述硅的各向同性腐蚀与各向异性腐蚀的工作原理，提出硅膜厚度的控制方法。实验中得出异向腐蚀时的最佳温度为９５℃，腐蚀速率ｖ＝１μｍ／ｍｉｎ。
【机 构】
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福州大学电子科学与应用物理系
【出 处】
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福州大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1995年4期
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