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本文利用改进了的热壁外延装置,在GaAs衬底上外延生长了GdTe,ZnSe,ZnSSe,ZnS等半导体单晶薄膜,ZnSe/ZnS,ZnSSe/ZnSe异质结构和ZnS/ZnSe,ZnSSe/ZnSe超薄层、多层结构。SEM,EMPA,XRD及PL等分析测试结果表明,所生长的半导体薄膜材料具有良好的结晶学性质和光学性质。