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激光加工系统由于激光热效应而使其光学筒长发生变化,影响其调焦精度和加工质量,在此从理论上分析了这种动态误差的产生,并从实际使用的角度给出了一种可能的检测修正办法.
光学筒长变化检测法
【摘 要】
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激光加工系统由于激光热效应而使其光学筒长发生变化,影响其调焦精度和加工质量,在此从理论上分析了这种动态误差的产生,并从实际使用的角度给出了一种可能的检测修正办法.
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2002年z2期
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