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报道了紫外预电离高功率放电KrF激光器的实验研究结果。表明,脉冲重复率一直增长到620Hz为止,都观察到激光平均功率增长,脉冲重复率为620Hz时,所研究的激光器平均功率达到最大值——630W。所得结果显示建立稳定平均功率为300~500W的工业化KrF激光器有现实前途。在稳定平均功率为300W时,激光器可以8小时不更换气体连续工作(12×10 ^-6脉冲),这时,脉冲之间的振荡不稳定性为~2%。