部分相干因子σ及其在相移掩模（PSM）模拟软件中的应用

来源 :光电工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：nzj66

【摘要】

：

从Ｈｏｐｋｉｎｓ公式出发，分析部分相干因子σ的物理意义，同时主要讨论在建立相移掩模软件中部分相干因子σ的应用 Based on the Hopkins formula, the physical meaning of partial cohere

【作者】

：

阙珑孙国良冯伯儒

【机构】

：

中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家实验室

【出处】

：

光电工程

【发表日期】

：

1995年06期

【关键词】

：

掩模 PSM 部分相干光光强分布相干度数学模型数值孔径相干条件完全相干成象系统

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从Ｈｏｐｋｉｎｓ公式出发，分析部分相干因子σ的物理意义，同时主要讨论在建立相移掩模软件中部分相干因子σ的应用 Based on the Hopkins formula, the physical meaning of partial coherence factor σ is analyzed, and the application of partial coherence factor σ in establishing phase shift mask software

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