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综述了国内外最近几年面投影微立体光刻技术的研究进展。阐述了液晶动态掩膜技术和数字微反射镜动态掩膜技术的基本原理。分析了两者的技术核心并对相关参数进行了比较。最后,对该技术的发展前景作了展望。
面投影微立体光刻技术研究进展
【摘 要】
：
综述了国内外最近几年面投影微立体光刻技术的研究进展。阐述了液晶动态掩膜技术和数字微反射镜动态掩膜技术的基本原理。分析了两者的技术核心并对相关参数进行了比较。最后
【机 构】
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陕西科技大学材料科学与工程学院
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2006年05期
【基金项目】
：
陕西省自然科学基金项目资助(2000C35)
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