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影响1.06μm光学薄膜激光损伤因素的实验研究
影响1.06μm光学薄膜激光损伤因素的实验研究
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chrisdc
【摘 要】
:
本文对光学薄膜淀积过程中真空室的真空环境对薄膜激光损伤的影响了理论与实验方面的分析,对分子泵,扩散泵真空系统及扩散泵+离子束辅助淀积(IAD)制备出的膜系样品所进行的损伤实验表
【作 者】
:
赵强
范正修
刘立明
范瑞瑛
黄日成
【机 构】
:
中国科学院上海?
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
真空环境
光学薄膜
激光损伤阈值
vacuum enviroment
optical coating
LIDT
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本文对光学薄膜淀积过程中真空室的真空环境对薄膜激光损伤的影响了理论与实验方面的分析,对分子泵,扩散泵真空系统及扩散泵+离子束辅助淀积(IAD)制备出的膜系样品所进行的损伤实验表明,分子泵系统制备出的薄膜显示出较高的损伤阈值。
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