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我们以辐照分布的形式测量了小面积形变（＜1/100μm），对外差干涉技术进行了讨论。该项技术采用了相衬进一步量度学原理。为了在实验中对所提出的这种方法加以验证，我们在一种产生表面形变的类反射镜式的薄物体诱导出了周期声波。
时间周期性表面形变的光学测量
【摘 要】
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我们以辐照分布的形式测量了小面积形变（＜1/100μm），对外差干涉技术进行了讨论。该项技术采用了相衬进一步量度学原理。为了在实验中对所提出的这种方法加以验证，我们在一种产生表
【出 处】
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光学精密机械
【发表日期】
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1999年3期
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