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本文就探测器级硅单晶的制备工艺和参数等进行了有益的探讨，发现高真空深度提纯之区熔硅单晶中的细微缺陷，乃是影响探测器制作和性能的关键参数。
探测器级高阻硅及其与器件的关系
【摘 要】
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本文就探测器级硅单晶的制备工艺和参数等进行了有益的探讨，发现高真空深度提纯之区熔硅单晶中的细微缺陷，乃是影响探测器制作和性能的关键参数。
【机 构】
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北京有色金属研究总院
【出 处】
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核电子学与探测技术
【发表日期】
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1994年6期
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