一种新颖的兼容逻辑的BCD技术

来源 :中国科技纵横 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chufs

【摘要】

：

随着电源管理芯片市场越来越快的增长,越来越多的关注集中在如何提高芯片的输出功率和效率.本文提供了一种新颖的制程技术,通过不同的沟槽深度来提供一种和逻辑完全兼容的制

【作者】

：

陈清

【机构】

：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,上海,201203

【出处】

：

中国科技纵横

【发表日期】

：

2018年4期

【关键词】

：

浅沟槽横向双扩散场效应管低导通电阻

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随着电源管理芯片市场越来越快的增长,越来越多的关注集中在如何提高芯片的输出功率和效率.本文提供了一种新颖的制程技术,通过不同的沟槽深度来提供一种和逻辑完全兼容的制程,对于LDMOS的结构,通过较浅的沟槽深度以达到降低LDMOS导通电阻来提升电源管理芯片的效率.同时还可以针对不同的电压域应用的需求,快速而灵活的开发出不同的器件来满足不同的电压应用的需求.

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