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,Modeling and noise analysis of a fence structure micromachined capacitive accelerometer system
【机 构】
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Department of Information Science and Electronic Engineering,Zhejiang University,Hangzhou 310027,Chi
【出 处】
：
浙江大学学报（英文版）（C辑：计算机与电子）
【发表日期】
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2010年12期
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