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针对高速旋转微电机中典型的转子轴衬摩擦磨损问题，以半球形轴衬为研究对象，提出了1种描述其磨损过程的线性滑动磨损模型，建立了半球形轴衬-极板接触有限元模型，分析微转子轴衬的磨损特性和轴衬-极板接触副的接触动力学特性，研究接触副几何结构参数和操作参数对微转子系统磨损特性的影响．结果表明：在MEMS微转子系统中，微转子轴衬偏心距离和转子轴衬半径影响线磨损率，以两者减至最小为较理想，但须注意设计中轴承半径的限制，并使轴衬偏心距离大于轴承内半径；在转子加工制造许可的范围内，可以通过调整转子轴衬的半径和偏心距离来减少