【摘 要】
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为了提高金刚石膜／基附着力，通过氧辅助使高温钨丝蒸发，在基底表面与碳氢基团反应生成纳米碳化钨，从而得到金刚石和纳米碳化钨混合的改性金刚石膜．用扫描电子显微镜、X射线衍射仪
【机 构】
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韶关学院机电系,华南理工大学机械工程学院
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为了提高金刚石膜／基附着力，通过氧辅助使高温钨丝蒸发，在基底表面与碳氢基团反应生成纳米碳化钨，从而得到金刚石和纳米碳化钨混合的改性金刚石膜．用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和压痕法研究了改性金刚石膜的形貌、结构和附着力性能．结果表明，碳钨化合物以纳米相存在于改性金刚石膜中．碳钨化合物的存在使改性金刚石膜的硬度下降，但是适当的碳钨化合物能使膜／基附着力性能得到较大提高．当氧气通入量为1．2sccm时，膜／基附着力性能最好。
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