纳米级光电综合测长仪

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北京光电量仪研究中心承担的科研项目——纳米级光电综合测长仪,不久前通过了由机械工业技术发展基金委员会组织的技术鉴定。本课题采用自行开发的超精细计量光栅为敏感元件的纳米测量方法,形成了一整套完整的超精细光栅测量技术。纳米级光电综合测长仪的研究成果表明,我国? Beijing photoelectric meter research center to undertake research projects - nano-optical length measuring instrument, not long ago adopted by the Mechanical Industry Technology Development Fund Committee organized the technical appraisal. The subject uses the self-developed ultrafine metrology grating sensor for the nano-measuring method, forming a complete set of ultrafine grating measurement technology. The results of research on nanometer optical length measuring instrument show that our country?
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