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本文提出了两种测量悬空薄膜内应力的新方法：阈值电压法和长梁挠曲法，对两种方法进行了理论分析与实验验证，并与已有的应力测量方法进行对比，取得了吻合的效果。这两种方法测试非常简单，且可实现薄膜内应力的“片内”检测，其中，阈值电压法即能测膜的张，压应力，也能提取材料的弹性模量，这使它成为一种非常有吸引力的应力测量方法。