压电微动伺服机构

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本文详尽论述了作为精密车床直线运动误差检测,补偿系统中的微动伺服机构的工作原理、伺服机构结构参数的优化设计以及为提高伺服机构的频响而设计的“有源高压放电电路”。最后,建立了压电微动伺服机构的静、动态特性的数学模型。 This paper elaborates the working principle of the micro-servo mechanism in the precision lathe linear motion error detection and compensation system, the optimal design of the servo structure parameters and the “active high-voltage discharge circuit” designed to improve the frequency response of the servos. Finally, the mathematical model of the static and dynamic characteristics of the piezoelectric fretting servo mechanism is established.
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