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期刊论文
磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究
磁悬浮转子微陀螺旋转驱动方式研究
来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Liudeyuan123
【摘 要】
:
介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的旋转原理,进行了针对旋转力矩的仿真;在此基础上,给出了相应实现方案的指标分析和系统设计。经过实际测试,旋转驱动后,微陀螺可以得到均匀
【作 者】
:
邵诗逸
黄晓刚
刘武
陈文元
【机 构】
:
上海交通大学微纳科学技术研究院、薄膜与微细加工教育部重点实验室、微纳米加工国防实验室
【出 处】
:
微电子学
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
磁悬浮转子
微陀螺
文氏桥
移相
正交驱动
Magnetically levitated rotator
Micromachined gyroscope
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介绍了基于MEMS技术的磁悬浮转子微陀螺的旋转原理,进行了针对旋转力矩的仿真;在此基础上,给出了相应实现方案的指标分析和系统设计。经过实际测试,旋转驱动后,微陀螺可以得到均匀快速的旋转效果,为下一步陀螺效应的研究打下了基础。
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