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本文报道与光学显微镜（ＯＭ）结合的原子力显微镜（ＡＦＭ）及其冲击式微位移机构（ＩＤＭ），采用ＯＭ及ＣＣＤ摄像机，可在５５０μｍ×４５０μｍ范围内监控微悬臂和样品，通过ＩＤＭ机构可将样品以０．５μｍ的步距在１０ｍｍ×１０ｍｍ范围内作二维移动。仪器最大扫描范围３μｍ×３μｍ，最高分辨率为纳米级。文中给出了获得的部分样品测试结果。