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运用有限元分析软件Fluent，以瞬时流量和MPH条件下的稳态效率作为评价指标，采用数值模拟方法分析了长度、最小宽度、深度以及扩张角等结构参数对微泵流量和效率影响情况。结果表明：长度对流道性能影响不是很明显；随着最小宽度增加，净流量先减小后增大然后又逐渐减小，效率则逐渐降低，存在一个能平衡流量和效率并使其达到较高的最佳宽度值；深度的增加有利于提高流量和效率；较小进1：3流速下可选择大一些的扩张角，有利于提高流量和效率，较大进口流速下则要选择小一些的扩张角，以避免发生边界分离使流量和效率降低。