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期刊论文
新型真空蒸镀设备的研制
新型真空蒸镀设备的研制
来源 :吉林化工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pie1011
【摘 要】
:
阐述了一种自行研制的大型真空蒸镀设备的结构、特点及镀膜过程,此设备镀室容量大,适用性强,并具有独特的旋转式蒸发电极,可使镀层更均匀的沉积到镀件上,提高了产品的蒸镀质量.
【作 者】
:
王丽瑛
王琪
【机 构】
:
长春大学生物科学技术学院,吉林农业大学工程技术学院
【出 处】
:
吉林化工学院学报
【发表日期】
:
2007年1期
【关键词】
:
蒸镀
镀膜
轰击电极
蒸发电极
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阐述了一种自行研制的大型真空蒸镀设备的结构、特点及镀膜过程,此设备镀室容量大,适用性强,并具有独特的旋转式蒸发电极,可使镀层更均匀的沉积到镀件上,提高了产品的蒸镀质量.
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