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一种适用于射频集成电路的抗击穿LDMOS设计
一种适用于射频集成电路的抗击穿LDMOS设计
来源 :电子设计工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kbens
【摘 要】
:
提出了一种具有深阱结构的RFLDMOS,该结构改善了表面电场分布.从而提高了器件的击穿电压.通过sil—vaco器件模拟软件对该结构进行验证,并对器件的掺杂浓度、阱宽、阱深、栅长进行
【作 者】
:
李春燕
杨发顺
马奎
王代强
【机 构】
:
贵州大学理学院
【出 处】
:
电子设计工程
【发表日期】
:
2013年7期
【关键词】
:
LDMOS
击穿电压
漂移区
雪崩击穿
LDMOS
breakdown voltage
drift region
avalanche breakdown
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提出了一种具有深阱结构的RFLDMOS,该结构改善了表面电场分布.从而提高了器件的击穿电压.通过sil—vaco器件模拟软件对该结构进行验证,并对器件的掺杂浓度、阱宽、阱深、栅长进行优化,结果表明,在保证LDMOb器件参数不变的条件下,采用深阱工艺可使其击穿电压提升50%以上。
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