【摘 要】
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采用分子束外延（MBE）技术制备In0.5Ga0.5As/GaAs量子点,利用扫描隧道显微镜（STM）对不同衬底温度下生长的样品进行表征分析.研究表明量子点密度随温度升高先增大后减小,其尺寸随温
【机 构】
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贵州大学大数据与信息工程学院贵州省微纳电子与软件技术重点实验室;
【基金项目】
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国家自然科学基金(61564002,11664005,61604046);贵州省科学技术基金(黔科合J字[2014]2046号,黔科合LH字[2016]7436号);贵州省教育厅自然科学基金(黔教合KY字(2014)265号)
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采用分子束外延（MBE）技术制备In0.5Ga0.5As/GaAs量子点,利用扫描隧道显微镜（STM）对不同衬底温度下生长的样品进行表征分析.研究表明量子点密度随温度升高先增大后减小,其尺寸随温度的升高而增大.另外,量子点以S-K模式生长并受Ostwald熟化机制影响,其尺寸增大所需的能量来自应变能和温度提供的能量,高温条件下表面原子的解吸附作用会限制量子点的生长.
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