【摘 要】
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<正> 一、芯片的发展 计算机的精髓是微处理器。微处理器是用光刻在芯片上制成大规模的集成电路。因此芯片的研制是计算机发展的重要环节之一。芯片制造的关键技术是蚀刻宽度
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<正> 一、芯片的发展 计算机的精髓是微处理器。微处理器是用光刻在芯片上制成大规模的集成电路。因此芯片的研制是计算机发展的重要环节之一。芯片制造的关键技术是蚀刻宽度,目前达到的工业生产技术水平是0.35微米,实验室生产技术水平已达0.15微米。芯片生产的规模是蚀刻宽度每缩小一半,芯片面积应缩小到原来的1/4,而价格则翻一番。自60年代以来,蚀刻技
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