【摘 要】
：
用100 kW级直流等离子体喷射系统制备金刚石自支撑膜,采用机械研磨方法对其进行平坦化加工。实验研究了不同研磨盘转速和不同压力对研磨的影响,分别用扫描电镜、数显千分表和
【基金项目】
：
国家自然科学基金(51272042),教育部博士点基金(2011000110011)
论文部分内容阅读
用100 kW级直流等离子体喷射系统制备金刚石自支撑膜,采用机械研磨方法对其进行平坦化加工。实验研究了不同研磨盘转速和不同压力对研磨的影响,分别用扫描电镜、数显千分表和X射线光电子能谱仪对金刚石膜研磨前后的表面形貌、厚度和金刚石去除机理进行了表征和分析。结果表明:研磨的转速和压力对膜的表面形貌和磨削速率影响非常明显,研磨盘转速为40 r/min,压力为0.50 MPa时,研磨效果较佳,磨削速率达到了80.5μm/h;研磨后的金刚石表面未发现有铁元素存在,金刚石的去除机理主要为微切削和应力诱导的金刚石膜局部
其他文献
在分析开关磁阻（SR）电机的数学模型的基础上,结合Ansoft有限元分析的数据、试验数据和实际样机的参数,首先建立了SR电机被控对象模型,主要包括SR电机本体模型、逆变器模型、电
对初植密度为3 000株/hm2的7～9年生杉木林进行不同始伐时间、不同间伐强度试验,结果表明：始伐时间越早或间伐强度越大,林分平均胸径、树高、材积的增幅也越大,经济效益越高。其
本文以漳州古雷半岛潮间带沉积物作为研究对象,筛选出能够发酵代谢产香兰素的高产菌株。为海洋放线菌发酵代谢进入工业化生产做出理论依据。
煤焦油是炼焦、煤制天然气等新型煤化工的副产物,目前国内加工技术比较落后,污染严重。煤焦油加氢技术是在石油化工的基础上发展起来的新型煤化工技术,技术较为成熟,并且能够
江西是中国苏维埃运动的中心,抗战胜利后,随着国统区危机的日益加深,江西的学生运动也蓬勃兴起,有力地动摇了国民政府在江西的统治,配合了解放军南下江西。
本文阐述了在发动机可靠性试验过程中遇到的CW-系列盘式电涡流测功机失效和损坏情况,通过故障诊断、失效分析判断出测功机深沟球轴承损坏致使轴承座孔严重磨损,测功机无法正
关于在集体林权制度改革中对计划生育家庭给予优惠的办法（试行）为了在全省集体林权制度改革中贯彻落实《中共中央国务院关于全面加强人口和计划生育工作统筹解决人口问题的决定
各市旅游局、省高速公路管理局：根据山西省财政厅、山西省物价局、山西省交通运输厅《关于暂缓收取外省旅行社组团入晋旅游客运车辆高速公路通行费的通知》，省旅游局和省交通运
汽车的被动安全越来越受到人们的关注。安全带动态试验中，机械缓冲吸能装置的钢条排布方式决定了减速度曲线的最终波形，直接关系到试验结果是否满足标准要求。本文针对机械式缓