基于数学形态学的微位移测量方法的研究

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用CCD摄像传感器摄取激光干涉图纹,采用Visual C++编程,对干涉图像用反高斯变换的光强平均分布的快速处理,保证干涉图纹信息的完整性;同时运用数字图像处理学中的LOG算子对干涉图像进行边缘检测,用数学形态学中的零交叉细化处理方法对干涉条纹进行细化处理,从而测量出引起条纹相位变化的微位移,其精度可达1/100的条纹间隔.可实现光学亚μm和nm尺度的测量.
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