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电容式传感器在纳米级测试中得到了广泛的应用，但是对环境条件要求较高，检测中温，湿度的变化，传感器本身结构乃至其电路性能等因素，将直接影响测量的准确度和灵敏度。介绍了大型天体望远镜光学镜面面形的控制方法和工作原理。
超大型光学镜面面形的纳米定位技术
【摘 要】
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电容式传感器在纳米级测试中得到了广泛的应用，但是对环境条件要求较高，检测中温，湿度的变化，传感器本身结构乃至其电路性能等因素，将直接影响测量的准确度和灵敏度。介绍了大型天
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1999年3期
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