【摘 要】
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本文介绍了等离子刻蚀和去胶对MOS、MNOS电容器和双板晶体管所产生的辐射损伤的激光退火,用连续CO2激光器从背面照射蕊片,可以明显地降低各种MIS结构中的固定电荷和界面陷阱,完
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本文介绍了等离子刻蚀和去胶对MOS、MNOS电容器和双板晶体管所产生的辐射损伤的激光退火,用连续CO2激光器从背面照射蕊片,可以明显地降低各种MIS结构中的固定电荷和界面陷阱,完全消除辐射损伤,使被损伤的器件特性得到恢复并有所改善,使集成电路成品率明显提高。
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