基模稳功率固体激光器的实验研究

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本文分析了含有热透镜的固体激光腔,动力学稳定性、模式特性和输出功率特性对动力学因子的依赖关系,得出了稳模输出和稳功率输出的一般条件。实现了连续Nd∶YAG激光器运转在稳功率点,获得较大功率的基模输出。
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日本工业技术计量研究院研究出高精度测定超大规模集成电路中微小图案线宽的测量装置。为测定图案的线宽,必须掌握检测刻线边缘位置的方法,并具有测定边缘间距的长度标尺。在这次开发的装置中,边缘位置由电子束检测,而用髙灵敏度激光干涉仪作长度标尺,因而能以毫微米的分辨率对微米量级的线宽作高精度测量。
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