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期刊论文
影响扫描电镜图像质量的因素分析
影响扫描电镜图像质量的因素分析
来源 :现代仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunxunjun2008
【摘 要】
:
本文介绍影响扫描电镜图像质量的因素及其对图像质量的影响,分别从加速电压、扫描速度和信噪比、柬斑直径、探针电流、消像散校正、工作距离以及反差对比等分析图像质量的变化
【作 者】
:
周广荣
【机 构】
:
聚合物分子工程教育部重点实验室复旦大学高分子科学系
【出 处】
:
现代仪器
【发表日期】
:
2010年6期
【关键词】
:
扫描电子显微镜
SEM
图像质量
Scanning electron microscope SEM Image quality
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本文介绍影响扫描电镜图像质量的因素及其对图像质量的影响,分别从加速电压、扫描速度和信噪比、柬斑直径、探针电流、消像散校正、工作距离以及反差对比等分析图像质量的变化原因,提出提高图像质量的方法。
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