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通过极化拉曼对以Si(001)为衬底、生长方向为NiSi[200]//Si[001]NiSi薄膜材料的拉曼峰进行了声子模式的分组,确定实验得到的NiSi薄膜的六个拉曼峰分别属于三类声子模式.其中213cm^-1、295cm^-1和367cm^-1处拉曼峰属于Ag对称性;196cm^-1和254cm^-1处拉曼峰属于B3g对称性;401cm^-1。处拉曼峰属于B1g或B2g对称性.