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利用非平衡磁控溅射技术在Ti6A14V合金表面制备SiNO薄膜，对不同氮气流量下SiNO薄膜样品的耐磨性和耐蚀性进行研究。结果表明，SiNO薄膜样品具有优异的耐磨性和耐蚀性能。研究认为影响SiNO薄膜性能的主要因素为薄膜中的氮原子百分含量及化合物存在状态。
UBMS合成的SiNO／Ti6Al4V薄膜的性能研究
【摘 要】
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利用非平衡磁控溅射技术在Ti6A14V合金表面制备SiNO薄膜，对不同氮气流量下SiNO薄膜样品的耐磨性和耐蚀性进行研究。结果表明，SiNO薄膜样品具有优异的耐磨性和耐蚀性能。研究认
【机 构】
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西南交通大学材料科学与工程学院
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2009年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（30570502）
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