Φ520mm F/1.6椭球面反射镜加工

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介绍了一块Φ520mm大相对孔径(F/1.6)轻量化椭球面反射镜的加工与检测方法。镜面的有效口径为Φ502mm,顶点曲率半径为1600mm,非球面系数k=-0.9663,面形精度要求优于0.025λ(RMS)。镜子背面有54个大小深浅不一的不通孔,用于减轻镜子的重量。采用WYKO干涉仪检测得到镜面面形误差达RMS0.02λ,λ=632.8nm。 A processing and testing method of Φ520mm large relative aperture (F / 1.6) lightweight ellipsoid mirror is introduced. The effective aperture of the mirror is Φ502mm, the vertex radius of curvature is 1600mm, the aspheric coefficient is k = -0.9663, the surface shape accuracy is better than 0.025λ (RMS). There are 54 non-through holes on the back of the mirror in different shades, which are used to reduce the weight of the mirror. The WYKO interferometer was used to obtain the specular error RMS0.02λ, λ = 632.8nm.
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